最早的臭氧作為殺菌劑的實驗是由法國的 Meritens 于 1886 年進行的。他指出，即使是稀薄的臭氧空氣也可以對受污染的水進行消毒。幾年后，F(xiàn)rolich 在他在 Martinikenfeld 建造的半生產(chǎn)中試工廠測試了臭氧的殺菌特性。阿姆斯特丹的亨利·廷達爾男爵隨后開發(fā)了一種臭氧消毒工藝。它配備了Van Der Sleen和Schneller發(fā)明的非介電臭氧發(fā)生器，每小時可產(chǎn)生約10g臭氧。來自發(fā)生器的臭氧氣體被加壓送入一個高泡塔，該塔在一定高度裝有多孔板。 Tyndall 的消毒系統(tǒng)于 1893 年在荷蘭萊頓附近的 Owdshoorn 首次投入使用，每小時的水流量為 3 立方米。后來，該工藝在 1896 年巴黎衛(wèi)生展和 1897 年布魯塞爾國際博覽會上公開展出。

1902~1903 德國西姆斯- Halx 業(yè)務在德國帕德博恩（60 立方米/小時）和威斯巴登（250 立方米/小時），建造他們的第一批具有生產(chǎn)規(guī)模的水處理廠。在這些工廠，礦泉水經(jīng)過含有細鵝卵石的初級過濾器處理。礦泉水中的臭氧吸收過程是在填充有碎燧石的填料塔中進行的，顯然吸收臭氧的效率不是很高。這種方法添加的臭氧有很大一部分仍留在尾氣中。此外，氫氧化鐵 (OH) 會粘在火石上，很容易堵塞氣水通道。但是，這種填料塔生產(chǎn)的每毫升水中的細菌數(shù)為2~9個，這是令人滿意的。

1898年，奧托等人在法國里爾試驗了一種新型板式臭氧發(fā)生器。建在法國尼斯市的大型臭氧處理水廠成功運行，每分鐘處理13立方米的水。它使用當時新的奧托板臭氧發(fā)生器和吸引器噴射器將臭氧與水混合。 Bon Voyage 水廠于 1906 年建于尼斯，因其保持飲用水臭氧處理連續(xù)運行的世界紀錄，常被稱為“飲用水臭氧化的發(fā)源地”。該工廠從 1906 年運行到 1970 年，隨著尼斯市及其郊區(qū)的發(fā)展，在其他地點又建造了兩座臭氧處理水廠。舊水廠已關閉，但 Bon Voyag 水廠大樓在尼斯保留為博物館。

自 1906 年 nisbon Voyag 水廠開業(yè)以來，多個國家出現(xiàn)了一些使用臭氧消毒的生產(chǎn)性水處理廠。到 1977 年為止，至少有 1,036 家已知的臭氧處理水廠，其中一半以上位于法國。

在美國，第一座臭氧處理水廠于 1900 年至 1905 年間在費城建成，其中最大的一座能夠處理來自 Schuylkill 河的水，粗濾后為 3.1 立方米/分鐘。接觸塔首次采用直徑30.5厘米、長45.7厘米的短玻璃管制成。每段之間安裝穿孔板，柱高10m。當水和臭氧從塔底向同一方向流動時，每個多孔板下方的氣液層被分離。由于穿孔板實際上阻止了臭氧流入水中，他取下穿孔板并開始從塔頂供水。臭氧向上流動，與水流方向相反，這樣臭氧更易溶解。 1905年建成直徑61cm、91.5cm的大型鋼制接觸塔。結果表明，處理后的水中細菌去除率為99.985%~99.998%。臭氧用量約為 2.292×10 的負 4 mol/L（11mg/L）次方，攝入量僅含有極低濃度的臭氧 2.708×10 負 4 倍 5 m3 mol/L（1.3mg/L） L)。此外，原水中有機物含量為（3.021~2.229）×10至負4次方mol/L（14.5~10.7mg/L）。在臭氧氧化過程中，有機物減少40%，色度去除率為77%，亞硝酸鹽去除率為79.5%，類蛋白氨去除率為11.9%。

美國戰(zhàn)爭部衛(wèi)生署署長的年度報告記錄了美國為改善軍隊供水所做的努力。 1909 年，使用安裝在軍事醫(yī)學博物館的實驗設備研究了尼亞加拉堡（紐約州福斯特尼亞加拉）臭氧的使用情況。

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